Keramische Ziele-drei Hauptfaktoren, die die Eigenschaften davon betreffen

Die Reinheit vonkeramisches Zielhat einen großen Einfluss auf die Leistung des Sputterfilms. Je höher die Reinheit ist, desto besser ist die Einheitlichkeit des Zerstäubungsfilms und die Qualität der Chargenprodukte. Um ein hohes keramisches Ziel mit hoher Leistung vorzubereiten, sollten wir diese Faktoren steuern, hauptsächlich einschließlich Formenmethoden, Rohstoffgröße, Sintereffekt, heute, um die Hauptfaktoren zu analysieren, die die Leistung des Keramikziels betreffen, sind diese.

Forming-Methode.

Um die Porosität des Keramikziels zu reduzieren und die Eigenschaften von dünnen Filmen zu verbessern, ist die hohe Dichte des Zerstäubungskeramik-Targets erforderlich. Niedrige Porosität bedeutet, hohe Dichte bedeutet, dass die Körner im keramischen Körper eng angeordnet sind, und es ist nicht einfach, destruktive Durchbrüche zu bilden, wenn sie externe Lasten oder ätzende Substanzen lagern. Das Formungsverfahren ist der Schlüssel, um Calcium Density Ceramic Embryo zu erhalten. Keramikziel wird üblicherweise durch trockenes Pressen, isostatisches Pressen, heißes Druckguss und andere Verfahren gebildet. Verschiedene Methoden haben unterschiedliche Eigenschaften und haben unterschiedliche Auswirkungen auf den Sinter und die Mikrostruktur von Härtungsratenkeramiken.

Granularität von Rohstoffen

Die Teilchengröße des Rohmaterials hat einen großen Einfluss auf die Qualität des Films, der durch das keramische Ziel gebildet wird. Nur wenn das Rohstoff gut ist, kann das endgültige abgefeuerte Produkt die Mikrostruktur bilden und eine gute Verschleißfestigkeit haben. Pulverpartikel, desto fein, desto größer ist die Aktivität und kann das Sintern fördern, die Porzellanfestigkeit ist auch höher, auch aus kleinen Partikeln, die auch aus kleinen Partikeln hergestellt sind, auch aufgrund von Korund und einem unterschiedlichen linearen Ausdehnungskoeffizienten der Glasphase in der durch Spannungskonzentration verursachten Getreidegrenze , Reduzieren Sie das Risiko von Riss, feinkörnig kann auch die Entwicklung von Mikrorrissen behindern, nicht einfach in transgranulärer Fraktur, ist vorteilhaft, um die Bruchzähigkeit zu verbessern, kann auch die Verschleißfestigkeit verbessern.

Das Sintern

Für keramisches Sintern ist einfach der Verdichtungsverfahren des keramischen grünen Billets unter hoher Temperatur. Bei der Erhöhung der Temperatur und der Zeit erfolgt die Verbindung zwischen Pulverpartikeln, die Festigkeit des Sinterkörpers erhöht sich, wobei das Aggregat von Pulverpartikeln in einen starken polykristallinen Sinterkörper mit einer bestimmten Mikrostruktur mit einer bestimmten Mikrostruktur und die erforderlichen physikalischen und mechanischen Eigenschaften des Produkts oder Material. Die Verdichtungsrate und die endgültige Struktur einer Probe reflektieren oft, welche Art von Wärmebehandlung, die er durchgemacht hat.