Sputtern ist eine der Haupttechnologie der Herstellung von dünnen Filmmaterialien, wodurch die Ionen-, Ionenquelle durch Beschleunigung von in einem Vakuum gesammelten Beschleunigung verwendet wird, und die Bildung eines Hochgeschwindigkeits-Ionenstrahls, der Bombardierung von fester Oberfläche, Ionen und Feststoffe Oberflächenatomischer Impulsaustausch, aus fester Oberflächen-Atom-Feststoff und Abscheidung in der basalen Oberfläche, als das feste, bombardierte Zerstäubungszielmaterialien.
weiterlesen »