Oxid-keramisches Zerstäubungsziel
- Molybdänsulfid-Antimonoxid (MoS2-Sb2O3 (60:40 Gew.-%))-Sputtertarget
- Zinkoxid (Ga-dotiert) (ZnO-3wt%Ga2O3)-Sputtertarget
- Molybdänoxid (MoO3)-Sputtertarget
- Magnesiumoxid (MgO)-Sputtertarget
- Indiumzinnoxid (IN2O3-SNO2) -Rotary-Zerstäubungsziel
- Yttrium oxid (y2o3) -Speiftingziel
- Gadoliniumoxid (GD2O3) -Spieding-Ziel
- Cer Oxid (CEO2) -Sputing-Ziel