Oxid-keramisches Zerstäubungsziel
- Kobaltmonoxid (Kobaltoxid) (CoO)-Sputtertarget
- Ferrosoferric Oxid (Fe3O4)-Sputtertarget
- Mangandioxid (MnO2)-Sputtertarget
- Manganmonoxid (MnO)-Sputtertarget
- Titanoxid (Ti4O7)-Sputtertarget
- Titanmonoxid (TiO)-Sputtertarget
- Aluminiumoxynitrid (AlON)-Sputtertarget
- Bismutoxid (Bi2O3)-Sputtertarget
- Wolframoxid (WO3)-Sputtertarget
- Fluordotiertes Zinnoxid (SnO2-SnF2 （90:10 Gew.-%）)-Sputtertarget