Metalllegierungszerstäubungsziele
- Sputtertarget aus Aluminium-Silizium-Kupfer-Legierung (AlSiCu)
- Eisen-Terbium-Kobalt-Legierung (FeTbCo)-Sputtertarget
- Wolfram-Titan (WTi (90:10 Gew.-%))-Sputtering-Target
- Nickel-Mangan (NiMn (50:50 at%))-Sputter-Target
- Wolfram-Titan (WTi (90:10 Gew.-%))-Delta Target
- Sputtertarget aus Aluminium-Chrom-Legierung (AlCr)
- Chrom-Silizium (CrSi)-Sputter-Target
- Kobalt-Gadolinium-Legierung (CoGd)-Sputtertarget
- Titan-Magnesium-Legierung (TiMg （65:35 at%）)-Sputtering Target
- Sputtertarget aus Eisen-Chrom-Legierung (FeCr)