Metalllegierungszerstäubungsziele
- Kupfer-Indium-Legierung (CuIn (80:20 Gew.-%))-Sputtertarget
- Sputtertarget aus Aluminium-Zirkonium-Legierung (AlZr)
- Zirkonium-Yttrium-Legierung (ZrY)-Sputtering-Target
- Kobalt-Chrom-Legierung (CoCr (50:50 Gew.-%)) – Sputtertarget
- Wolfram-Nickel (W/Ni (90:10))-Sputter-Target
- Kobalt-Terbium-Eisen-Legierung (CoTbFe)-Sputtertarget
- Sputtertarget aus Aluminium-Silizium-Kupfer-Legierung (AlSiCu)
- Eisen-Terbium-Kobalt-Legierung (FeTbCo)-Sputtertarget
- Wolfram-Titan (WTi (90:10 Gew.-%))-Sputtering-Target
- Nickel-Mangan (NiMn (50:50 at%))-Sputter-Target