Metalllegierungszerstäubungsziele
- Kobalt-Samarium-Legierung (CoSm (50:50))-Sputtertarget
- Sputtertarget aus Aluminium-Silizium-Legierung (AlSi)
- Nickel-Chrom-Legierung (NiCr) – rotierendes Sputtertarget
- Kupfer-Silizium (CuSi)-Sputter-Target
- Chromaluminid (CrAl)-Sputtertarget
- Sputtertarget aus Nickel-Silizium-Legierung (NiSi)
- Aluminium-Titan (AlTi)-Sputter-Target
- Kupfergermanid (CuGe)-Sputtertarget
- Vanadium-Wolfram (VW (98/2 Gew.-%))-Sputter-Target
- Indium-Zink-Legierung (InZn （90:10 Gew.-%）)-Sputter-Target