Metalllegierungszerstäubungsziele
- Titan-Aluminium-Silizium-Legierung (TiAlSi)-Sputtertarget
- Niob-Titan (NbTi)-Sputter-Target
- Sputtertarget aus Aluminium-Chrom-Kupfer-Legierung (AlCrCu)
- Kupfer-Indium-Gallium (CuInGa)-Sputter-Target
- Sputtertarget aus Aluminium-Antimon-Legierung (AlSb)
- Eisen-Kobalt-Tantal-Zirkon-Legierung (FeCoTaZr)-Sputtertarget
- Titan-Aluminium-Legierung (TiAl (10:90 at%))-Sputter-Target
- Niob-Alumnid (NbAl(90:10))-Sputtertarget
- Kobalt-Chrom-Aluminium (CoCrAl)-Sputter-Target
- Wolfram-Chrom-Legierung (WCr)-Sputter-Target