Metalllegierungszerstäubungsziele
- Zinn Silber Kupfer (Snagcu) -Speiftingziel
- Molydenum Germanium-Legierung (MOGE (78:22 in%)) - Sputtering-Ziel
- Zirkon-Mangan-Legierung (Znmn) -Sputing-Ziel
- Kupfer-Eisen (Kuffe (99: 1 Gew .-%)) - Sputtern-Ziel
- Nickel Molybdän (Nimo (85:15 in%)) - Sputtering-Ziel
- Tantalum Wolfram (TAW (90:10 Gew .-%)) - Zerstäubungsziel
- Molybdän Niob (MONB) -Speiftingziel
- Kupfer Nickel-Legierung (Cuni (55:45 Gew .-%)) - Sputtering-Ziel
- Nickel-Molybdän-Wolfram (Nimow (84/8/8 Gew .-%)) - Sputtern-Ziel
- Wolfram-Rhenium-Legierung (WRE (90/10 Gew .-%)) - Sputtering-Ziel