Die Magnetron-Zerstäubungsmethode kann verwendet werden, um eine Vielzahl von Materialien wie Metallen, Halbleiter, Isolatoren usw. herzustellen. Es hat die Vorteile einfacher Ausrüstung, einfache Steuerung, große Beschichtungsfläche, starke Haftung usw. Magnetron-Zerstäubungsentwicklung bisher, zusätzlich zu den Vorteilen der allgemeinen Sputtermethode, jedoch auch, um hohe Geschwindigkeit, niedrige Temperatur, geringe Schäden zu erreichen.