Keramische Zerstäubungsziele.
- Cadmium-Zink-Tellurid (CZT) (CdZnTe)-Sputtertarget
- Yttriumoxid-stabilisiertes Zirkonoxid (YSZ) (ZrO2-Y2O3)-Sputtertarget
- Aluminiumoxid (Al2O3)-Sputtertarget
- Titan-Aluminium-Karbid (Ti3AlC2)-Sputtering-Target
- Trikobalttetroxid (Kobaltoxid) (Co3O4)-Sputtertarget
- Arsen-Tellurid (As2Te3)-Sputtertarget
- Lithium-Niob-Oxid (LiNbO3)-Sputtering-Target
- Lithiumfluorid (LiF)-Sputtertarget
- Natriumfluorid (NaF)-Sputtertarget
- Natrium-Yttrium-Fluorid (NaYF4)-Sputtertarget