Zirkonsilicid (ZrSi2)-Sputtertarget

Charakteristisch

Zirkon(IV)-silicid ist eine anorganische chemische Verbindung mit der chemischen Formel ZrSi₂, bestehend aus Zirkonium- und Siliziumatomen.

Chemische Formel: ZrSi₂

Molmasse: 147,395 g/mol

Aussehen: graues Pulver

Dichte: 4,88 g/cm²³

Schmelzpunkt:1.620 °C (2.950 °F; 1.890 K)

Löslichkeit in Wasser: unlöslich

Löslichkeit: löslich in Flusssäure

Anwendung

Wird als feines keramisches Rohstoffpulver verwendet, das bei der Herstellung von Tiegeln zur Herstellung von Halbleiterfilmen verwendet wird.

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