Wolframsilizid (WSi2)-Sputtertarget

Charakteristisch

Wolframsilizid (WSi₂) ist eine anorganische Verbindung, ein Silizid von Wolfram.Es ist ein elektrisch leitfähiges Keramikmaterial.

Chemische Formel: WSi₂

Molmasse: 240,011 g/mol

Aussehen: blau-graue tetragonale Kristalle

Dichte: 9,3 g/cm²³

Schmelzpunkt: 2160 °C (3.920 °F; 2.430 K)

Löslichkeit in Wasser: unlöslich

Anwendung

Es wird in der Mikroelektronik als Kontaktmaterial mit einem spezifischen Widerstand von 60–80 μΩ cm verwendet;es bildet sich bei 1000 °C.Es wird oft als Shunt über Polysiliziumleitungen verwendet, um deren Leitfähigkeit zu erhöhen und die Signalgeschwindigkeit zu erhöhen.Wolframsilicidschichten können durch chemische Gasphasenabscheidung hergestellt werden, zB unter Verwendung von Monosilan oder Dichlorsilan mit Wolframhexafluorid als Quellgase.Der abgeschiedene Film ist nicht stöchiometrisch und erfordert ein Tempern, um in eine leitfähigere stöchiometrische Form umzuwandeln.Wolframsilizid ist ein Ersatz für frühere Wolframfilme.Wolframsilizid wird auch als Sperrschicht zwischen Silizium und anderen Metallen, zB Wolfram, verwendet.

Wolframsilicid ist auch für die Verwendung in mikroelektromechanischen Systemen von Wert, wo es hauptsächlich als dünne Filme zur Herstellung von Mikroschaltungen verwendet wird.Für solche Zwecke können Wolframsilicidfilme unter Verwendung von zB Stickstofftrifluoridgas plasmageätzt werden.

WSi₂eignet sich gut in Anwendungen als oxidationsbeständige Beschichtungen.Insbesondere, ähnlich wie Molybdändisilizid, MoSi₂, macht das hohe Emissionsvermögen von Wolframdisilicid dieses Material attraktiv für Hochtemperatur-Strahlungskühlung, mit Auswirkungen auf Hitzeschilde.

Wolframsilizid-MSDS.pdf