Mit Aluminium dotierte ZnO (AZO) -Dünnfilme werden durch ein wirtschaftlich vielseitiges Herstellungsverfahren des Elektrosprays auf zwei Arten von Substraten abgeschieden - Glas- und Siliziumwafer bei einer Substrattemperatur von 300 ° C, einer Spannung von 18 kV und einem Abstand von Emitter zu Kollektor von 6 cm , Zinkacetat-Dehydrat gelöst i
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