Seltener Erde keramisches Sputterziel
- Holmiumoxid (Ho2O3)-Sputtertarget
- Erbia stabilisierte Wismutoxid (ER2O3-BI2O3) -Spissing-Ziel
- Thuliumoxid (TM2O3) -Sputing-Ziel
- Samariumoxid (SM2O3) -Sputing-Ziel
- Praseodymiumoxid (PR6O11) -Spieding-Ziel
- Scandiumoxid (SC2O3) -Spieding-Ziel
- Neodymoxid (ND2O3) -Spieding-Ziel
- Lanthanumoxid (LA2O3) -Sputing-Ziel
- Ytterbiumoxid (yb2o3) -Spieding-Ziel
- Europiumoxid (EU2O3) -Spieding-Ziel