Oxide Verdampfungsmaterial
- Chromoxid (Cr2O3)-Pellets
- Hafniumoxid (HfO2)-Pellets
- Titanoxid (Ti4O7)-Pellets
- Titandioxid (TiO2)-Pellets
- Zirkondioxid (ZrO2)-Pellets
- Siliziumdioxid (SiO2)-Pellets
- Trikobalttetroxid (Kobaltoxid) (Co3O4)-Pellets
- Indiumzinnoxid (In2O3-SnO2 （90:10 Gew.-%）)-Pellets
- Wismutoxid (Bi2O3)-Pellets
- Antimonoxid (Sb2O3)-Pellets