Metallzerstäubungsziele.
- Tantalmetall (TA) -Spändler-Ziel
- Aluminiummetall (Al) -Sputinging-Ziel
- Mangan-Metall (MN) -Spändler-Ziel
- Kupfermetall (CU) -Spändler-Ziel
- Indium Metal (in) -Speiftingziel
- Wolframmetalle (W) -Speiceing-Ziel
- Eisenmetall (Fe) -Spändler-Ziel
- Zink Metall (ZN) -Sputinging-Ziel
- Niob (NB) -Rotary-Ziel
- Rheniummetall (RS) -Speitering Ziel