Metallzerstäubungsziele.
- Aluminiummetall (Al) -Sputinging-Ziel
- Niobium Metal (NB) -Spändler-Ziel
- Mangan-Metall (MN) -Spändler-Ziel
- Cadmium Metal (CD) -Spändler-Ziel
- Zink Metall (ZN) -Sputinging-Ziel
- Niob (NB) -Rotary-Ziel
- Eisenmetall (Fe) -Spändler-Ziel
- Indium Metal (in) -Speiftingziel
- Wolframmetalle (W) -Speiceing-Ziel
- Boron (B) -Speiter-Ziel