Halogenkeramik-Sputtern-Ziel
- Lithiumfluorid (LiF)-Sputtertarget
- Natriumfluorid (NaF)-Sputtertarget
- Natrium-Yttrium-Fluorid (NaYF4)-Sputtertarget
- Zinkfluorid (ZnF2)-Sputtertarget
- Calciumfluorid (CAF2) -Spändler-Ziel
- Magnesiumfluorid (DFM) (MGF2) -Spändler-Ziel
- Bariumfluorid (BAF2) -Spändler-Ziel
- Ceriumfluorid (CeF3)-Sputtertarget
- Lanthanfluorid (LaF3)-Sputtertarget
- Ytterbiumfluorid (YbF3)-Sputtertarget