Was sind die materiellen Anforderungen an Verdampfungsquelle in der Vakuumbeschichtung?

Im Allgemeinen sollten das Material und die Form der Verdampfungsquelle in Betracht gezogen werden. Die allgemeinen Anforderungen derVerdampfungsquellenmaterialsind:

Der hohe Schmelzpunkt

Da die Verdampfungstemperatur des Verdampfungsmaterials (die Temperatur des Gleichgewichtsdampfdrucks von 1,3 pa) meistens zwischen 1000 bis 2000 ℃ beträgt, sollte daher der Schmelzpunkt des Verdampfungsquellenmaterials höher sein als diese Temperatur.

Dampfdruck ausgleichen.

Der Hauptzweck besteht darin, das Verdampfungsquellenmaterial unter Hochtemperaturverdampfungsmaterialien zu verhindern oder zu reduzieren und Verunreinigungen in die Verdampfungsbeschichtungsschicht zu verleihen. Nur in Verdampfungsquellenmaterialien, wenn das Gleichgewicht des Luftdrucks gering ist, um sicherzustellen, dass die geringste Selbstverdampfung während des Verdampfung aufweist, die Systemvakuum- und Verschmutzungsmembranschicht nicht beeinflussen, um die Menge an Verdampfungsquellenmaterialien zu ermöglichen, sind sehr wenig, Verdampfen Temperatur, Verdampfungsquellenmaterial Die Wahl sollte das Material der Verdampfungstemperatur niedriger als die Verdampfungsquellenmaterialien sind, wobei der Bilanzdruck von 1,3 × 10-6 Pa die Temperatur von 1,3 × 10-3pa entspricht, um eine hohe Qualität vorzubereiten Filme.

Stabile chemische Eigenschaften

Chemische Reaktion mit Verdampfungsmaterial sollte bei hoher Temperatur nicht auftreten. Bei hoher Temperatur reagieren einige Verdampfungsquellenmaterialien mit Verdampfungsmaterialien, um Verbindungen und Legierungen zu bilden. Insbesondere die niedrige Eutectic-Legierung-Verdampfungsquelle ist leicht zu brennen. Beispielsweise bilden Tantal und Gold Legierungen bei hoher Temperatur, und Aluminium, Eisen, Nickel, Kobalt bilden auch Legierungen mit Wolfram, Molybdän, Tantal und anderen Verdampfungsmaterialien. Wolfram kann auch mit Wasser oder Sauerstoff reagieren, um flüchtige Oxide wie WO, WO2 oder WO3 zu bilden. Molybdän kann auch mit Wasser oder Sauerstoff reagieren, um volatilen MOO3 usw. zu bilden usw. sollte daher das Material auswählen, das nicht mit dem Beschichtungsmaterial reagiert oder die Legierung bildet, um das Verdampfungsquellenmaterial des Materials zu bilden.

Die als Verdampfungsquellen verwendeten Materialien müssen nach hoher Temperaturkühlung einen hohen Schmelzpunkt, eine geringe Verflüchtigung und eine geringe Sprödigkeit haben. Die häufig verwendete lineare Verdampfungsquelle sollte in der Lage sein, mit der Verdampfungmetallphase benetzt zu werden, der Schmelzpunkt ist weitaus größer als die Verdampfungstemperatur des vergoldeten, und reagiert nicht mit der vergoldeten Legierung.