Titansilicid (TiSi2)-Pulver

Charakteristisch

Titandisilizid (TiSi₂) ist eine anorganische chemische Verbindung.

Chemische Formel: TiSi₂

Molmasse: 104,038 g/mol

Aussehen: schwarze orthorhombische Kristalle

Dichte: 4,02 g/cm³

Schmelzpunkt: 1.470 °C (2.680 °F; 1.740 K)

Löslichkeit in Wasser: unlöslich

Löslichkeit: löslich in HF

Anwendung

Titansilicid wird in der Halbleiterindustrie verwendet.Es wird typischerweise mittels Salizidtechnologie über Silizium- und Polysiliziumleitungen aufgewachsen, um den Schichtwiderstand lokaler Transistorverbindungen zu reduzieren.In der mikroelektronischen Industrie wird es typischerweise in der C54-Phase verwendet.

Titansilicid-MSDS.pdf