Tantalpentoxid (Ta2O5)-Sputtertarget

Charakteristisch

Tantalpentoxid, auch bekannt als Tantal(V)-Oxid, ist die anorganische Verbindung mit der Formel Ta₂O₅.Es ist ein weißer Feststoff, der in allen Lösungsmitteln unlöslich ist, aber von starken Basen und Flusssäure angegriffen wird.Ta₂O₅ist ein inertes Material mit hohem Brechungsindex und geringer Absorption (dh farblos), was es für Beschichtungen geeignet macht.Aufgrund seiner hohen Dielektrizitätskonstanten wird es auch in großem Umfang bei der Herstellung von Kondensatoren verwendet.

Chemische Formel: Ta₂O₅

Molmasse: 441.893 g/mol

Aussehen: weißes, geruchloses Pulver

Dichte: β-Ta2O5 = 8,18 g/cm³

α-Ta2O5 = 8,37 g/cm³

Schmelzpunkt: 1.872 ° C (3.402 ° F; 2.145 K)

Löslichkeit in Wasser: vernachlässigbar

Löslichkeit: unlöslich in organischen Lösungsmitteln und den meisten Mineralsäuren, reagiert mit HF

Bandlücke: 3,8 - 5,3 eV

Magnetische Suszeptibilität (χ): −32.0·10^-6cm³/mol

Brechungsindex (nD): 2,275

Anwendung

In der Elektronik

Aufgrund seiner hohen Bandlücke und Dielektrizitätskonstante hat Tantalpentoxid eine Vielzahl von Anwendungen in der Elektronik, insbesondere in Tantalkondensatoren, gefunden.Diese werden in der Automobilelektronik, Mobiltelefonen und Pagern, elektronischen Schaltungen verwendet;Dünnschichtkomponenten;und Hochgeschwindigkeitswerkzeuge.In den 1990er Jahren wuchs das Interesse an der Verwendung von Tantaloxid als High-k-Dielektrikum für DRAM-Kondensatoranwendungen.,

Es wird in On-Chip-Metall-Isolator-Metall-Kondensatoren für integrierte Hochfrequenz-CMOS-Schaltungen verwendet.Tantaloxid kann als Ladungseinfangschicht für nichtflüchtige Speicher verwendet werden., Es gibt Anwendungen von Tantaloxid in resistiven Schaltspeichern.

Andere Verwendungen

Aufgrund seines hohen Brechungsindex ist Ta₂O₅wurde bei der Herstellung des Glases von fotografischen Linsen verwendet.

Ta2O5_MSDS.pdf