Planare Target- und rotierende Zielunterschiede

Das gemeinsame Zerstäubungsziel auf dem Markt beinhaltet hauptsächlich ein Target des ebenen Sputterns undrotierendes Zerstäubungsziel

Für ein planares Ziel sind seine Hauptvorteile eine einfache Struktur, starke Vielseitigkeit, Filmgleichmäßigkeit und gute Wiederholgenauigkeit. Es ist der größte Nachteil der geringen Zielnutzungsrate, im Allgemeinen nur etwa 20%; wenn das Ziel im Glühbereich (Magnetfeldverteilungsbereich) verbraucht wird In gewissem Maße wird die streifenförmigen Gruben gebildet, die das Ziel dünner macht. Wenn die Grubentiefe einen bestimmten Wert erreicht, ist das Ziel nicht mehr verwendbar.

Im Vergleich zu planaren Zielen sind die Hauptvorteile rotierender Ziele ihre kompakte Struktur und eine höhere Zielnutzungsrate, sodass rotierende Ziele das Problem der geringen Nutzungsrate von planaren Zielen lösen können. Wie immer, hat das rotierende Ziel auch einige unvermeidliche Nachteile. Beim Sputtern gibt es viele Glühringe auf der gesamten Oberfläche des Ziels, die kein kontinuierliches Bandglühen bilden können. Daher ist die Gleichmäßigkeit der Folienoberfläche, wenn ein großer Film mit Film beschichtet ist, schlecht und es ist schwierig, den Anforderungen zu erfüllen Dies ist der größte Nachteil des rotierenden Ziels.

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