Molybdänsilicid (MoSi2)-Sputtertarget

Charakteristisch

Molybdändisilizid (MoSi₂, oder Molybdänsilicid), eine intermetallische Verbindung, ein Silizid von Molybdän, ist eine feuerfeste Keramik, die hauptsächlich in Heizelementen verwendet wird.Es hat eine mäßige Dichte, einen Schmelzpunkt von 2030 °C und ist elektrisch leitfähig.Bei hohen Temperaturen bildet es eine Passivierungsschicht aus Siliziumdioxid, die es vor weiterer Oxidation schützt.Die thermische Stabilität von MoSi₂neben seinem hohen Emissionsgrad machen dieses Material neben WSi₂attraktiv für Anwendungen als Beschichtungen mit hohem Emissionsgrad in Hitzeschilden für atmosphärischen Eintritt.MoSi₂ist ein grau metallisch wirkendes Material mit tetragonaler Kristallstruktur (Alpha-Modifikation);seine Beta-Modifikation ist hexagonal und instabil.

Chemische Formel: MoSi₂

Molmasse: 152,11 g/mol

Aussehen: grauer metallischer Feststoff

Dichte: 6,26 g/cm³

Schmelzpunkt: 2.030 °C (3.690 °F; 2.300 K)

Kristallstruktur: Tetragonal

Anwendung

Molybdändisilizid-Heizelemente können für Temperaturen bis 1800 °C in Elektroöfen in Labor- und Produktionsumgebungen bei der Herstellung von Glas, Stahl, Elektronik, Keramik und bei der Wärmebehandlung von Materialien verwendet werden.Obwohl die Elemente spröde sind, können sie ohne Alterung mit hoher Leistung betrieben werden, und ihr spezifischer elektrischer Widerstand erhöht sich nicht mit der Betriebszeit.Ihre maximale Betriebstemperatur muss in Atmosphären mit niedrigem Sauerstoffgehalt durch den Abbau der Passivierungsschicht abgesenkt werden.

Andere für Heizelemente verwendete keramische Materialien sind zB Siliziumkarbid, Bariumtitanat und Bleititanat-Verbundwerkstoffe.

Molybdändisilizid wird in der Mikroelektronik als Kontaktmaterial verwendet.Es wird oft als Shunt über Polysiliziumleitungen verwendet, um deren Leitfähigkeit zu erhöhen und die Signalgeschwindigkeit zu erhöhen.

Molybdänsilizid-MSDS.pdf