Klassifizierung der Zielmaterialien

Klassifizierung derZerstäubungszielmaterialien

1. Metallziel Nickel, Ni, Titan, Ti, Zink, Zn, Chrom, Cr, Magnesium, Mg, Niob, NB, Zinn, Sn, Aluminium, Al, Indium, In, Eisen, Fe, Zirkonium, Zirkonium, Zirkonium, Zirkonium, Zirkonium, Zirkonium, Zirkonium, Zirkonium, Zirkon Aluminium, Time, Zirkonium, Zr, Aluminium-Silizium, ALSI, Silizium, Si, Kupfer, Cu, Tantal, T, A, GE, Silberziel, AG Ziel, Kobaltziel, CO-Ziel, Goldziel, AU-Ziel, Gadoliniumziel , GD-Ziel, Lanthan-Ziel, La-Ziel, Yttrium-Ziel, Y-Ziel, Cer-Target, CE-Ziel, Wolframziel, W, Edelstahlziel, NiCr Target, Hafniumziel, HF-Ziel, Molybdän-Ziel, MO-Ziel, Fe-Ni-Ziel , FENI-Ziel, Wolframziel, W usw.

2. Keramisches Zielmaterial, ITO-Target, Eisenoxid, Magnesiumoxid-Ziel, Ziel, Ziel, Siliziumkarbid-Siliziumnitrid-Titannitridzielzielziel, Ziel, Zinksulfid, Zinkoxid, Chromoxid, Kieselsäure, Ziel, Ziel ein Siliziumoxid, Ceroxidziel, Zirkoniumdioxidziel, Niob-Pentoxid-Zielziel, Ziel, Titandioxid, Zirkoniumdioxid, Hafnium-Ziel, Target, Titandiborid-Diborid-Zirkoniumziel, Wolfram-Trioxid-Ziel, Aluminiumoxid-Ziel-Tantal-Pentaoxid, Niob-Pentaoxid-Ziel, Magnesiumfluorid-Ziel, Yttrium-Fluoridziel, Zink Selenidziel, Aluminiumnitridziel, Siliziumnitridziel, Bornitridziel, Titannitridziel, Siliziumkarbidziel, Lithium-Niobat-Ziel, Praseodym-Titanatziel, Barium Titanatziel, Lanthan-Titanatziel, Nickeloxidziel, Zerstäubungsziel , etc.

3. Legierungsziel FE-CO Target FECO, Al-Si-Ziel-ALSI, TI-SI-Ziel-Tisi, TI-SI-Target CRSI, ZN-AL-Ziel Znal, TI-ZN Target TIZN, TI-AL TARGET TIAL, TI-ZR TARGET TIZR, TI-SI Target Tisi, TI-NI Target Tini, Ni-Cr Target NiCr, Ni-Al Target Nial, Ni-V Target Niv, Ni-Fe Target Nife ...