ITO-Zerstäubungsziel.

Vorbereitungsmethode vonITO-Zerstäubungsziel.Material

Vakuum-Heißpressen.

Das ITO-Keramik-Target mit hoher Dichte mit einer Dichte von 91% bis 96% kann durch Verwendung von Wärme- und mechanischen Energie hergestellt werden, um ITO-Pulver durch Vakuum heiß zu dichten Null

Heißes isostatisches Pressen

Heißes isostatisches Pressen (HIP) wird verwendet, um ITO-Zerstäubungsziele durch Sintern unter Druck oder Druckauflage bei hoher Temperatur herzustellen. Die HIP-Heißpressen von Vakuum kann erhitzt und unter Druck gesetzt werden, um eine hohe Dichte (nahezu theoretische Dichte) und hervorragende physikalische und mechanische Eigenschaften zu erreichen Aber es ist auch durch Ausrüstungsdruck und Zylindergröße begrenzt.

Raumtemperatur Sintern.

Raumtemperatur-Sintern ist das erste, dass das Ziel mit hoher Dichte vorbereitet wird, das durch Aufschlämmungsgießen oder Prepressing vorgefertigt ist, und dann das Sintern von ITO-Target an einer bestimmten Atmosphäre und Temperaturen. Dies ist der größte Vorteil darin, dass es großes Sputtern-Zerstäubungsmaterial erzeugen kann. Verglichen mit anderen Sintern Verfahren, die Reinheit des von dieser Verfahrens hergestellten Ziels ist niedriger.

Kaltes isostatisches Pressen

Kaltisostatisches Pressen (CIP) nimmt Gummi oder Kunststoff als Abdeckmaterial und Flüssigkeit als Druckmittel, um den super hohen Druck bei Raumtemperatur zu übertragen. KIP kann auch das Zerstäubungsziel mit größerer Größe vorbereiten. Und günstig, geeignet für die Massenproduktion Das Material, das bei 1500 bis 1600 ° C in der reinen Sauerstoffumgebung von 0,1 bis 0,9 MPa gesintert wird, was ein hohes Risiko aufweist.

Anwendung von ITO-Zerstäubungszielmaterial

ITO-Zerstäubungsziel und seine Derivate, wie ITO-Folie und ITO-Glas, werden in allen Wanderungen weit verbreitet. Möglicherweise werden Targets verwendet, um transparente leitfähige Beschichtungen für Flüssigkristallanzeigen (LCDs), Flachbildschilde, Plasmaanzeigen und Berühren Paneele. ITO-Filme werden für organische Leuchtdioden, Solarzellen und antistatische Beschichtungen eingesetzt. Ergänzung zu der Elektronikindustrie werden ITO-Ziele auch in verschiedenen optischen Beschichtungen verwendet, insbesondere infrarotreflektierende Beschichtungen und Natriumdampfglas für Automobile.