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Titansilicid (TiSi2)-Sputtertarget

  • 12039-83-7

  • TiSi2

  • 221400ST

  • 99,5%

  • Durchmesser: 50,8 mm x 6,35 mm

  • 235-082-9

Verfügbarkeitsstatus:
erkundigen

Charakteristisch

Titandisilizid (TiSi2) ist eine anorganische chemische Verbindung.


Chemische Formel: TiSi2

Molmasse: 104,038 g/mol

Aussehen: schwarze orthorhombische Kristalle

Dichte: 4,02 g/cm3

Schmelzpunkt: 1.470 °C (2.680 °F; 1.740 K)

Löslichkeit in Wasser: unlöslich

Löslichkeit: löslich in HF


Anwendung

Titansilicid wird in der Halbleiterindustrie verwendet.Es wird typischerweise mittels Salizidtechnologie über Silizium- und Polysiliziumleitungen aufgewachsen, um den Schichtwiderstand lokaler Transistorverbindungen zu reduzieren.In der mikroelektronischen Industrie wird es typischerweise in der C54-Phase verwendet.


Titansilicid-MSDS.pdf

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